Slide_Sony_Atsugi_Tech_2020_07_10_Slide041_to_050.html

by Yoshiaki Daimon Hagiwara

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Slide041

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1972年当時は Intel社は PMOS Transistorの商品化に最初成功しました。

NMOSより、PMOS Transistorの方が シリコン表面の固定電荷Qssの抑圧
が簡単だったからです。しきい値の制御に Qss/Co の項の影響は非常
に大きく、固定電荷Qssの変動はしきい値 Vth の変動となり現れて歩留
まり低下の原因でした。それで PMOS Transistor から手がけました。


PMOS Transistor では、Source と Drain 領域を P typeの拡散層で形成
しますので、N type 基板を用います。

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まず、N type 基板の表面を酸化します。
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PMOS Transistorの Active 領域を定義し、その部分の酸化膜を除去します。


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再びその領域を薄く酸化し、Gate 酸化膜として後で使います。

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PMOS Transistorの Polysilicon 電極を形成します。


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PMOS Transistorの Polysilicon 電極の表面を酸化し保護します。


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次に Polysilicon 電極 と Active 領域の回りの 厚いFiled 酸化膜を

mask として、イオン打ち込みで source と drain を形成します。

ここで熱拡散による従来の source と drain を形成と違って、

Intel社は イオン打ち込み技術により  source と drain を形成しました。

イオン打ち込み技術の場合は、そのsource と drain 領域の不純物原子の

ピーク濃度の位置を、シリコン表面だけでなく、自由に深さを制御できます。

これは KNOWHOWで当時は企業秘密でした。

でもだれでも気が付くことで、Intel社は あえて 特許にしなかったと記憶します。

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その結果、source と drain 領域は、図の様に 埋め込みP層になりました。


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後は金属コンタクトを このsource と drain 領域と Polysilicon 電極に

つける必要がありますが、さてこの後は Intelはどうしたでしょうか?

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単純にまず、金属コンタクト様に 酸化膜に窓を開けます。



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いずれは Image Sensor Storyとして 一般の文系の人でも
理解できる内容として、和文で本を一冊出版したいです。
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また、その英文も出版したいと希望しています。

本書にはDVDを教材としてつけたいです。

今回の7月10日に収録した講演の録画内容をもし可能なら
つけたいです。できばえ次第ですが、、

これは日本の半導体産業の再起に対して、人材育成は最重要
課題です。優秀な夢ある半導体技術者を育てることが萩原の
残り少ない人生の最大の使命と感じています。この歳まで
健康でいられて感謝感謝です。一緒に仕事をしてきた仲間や
先輩や萩原を守っていただいた、SONY TOPの方々、
SONY中研時代に萩原の親切に歓迎してくれた岩田三郎さん
や塚本さん、CCDの開発の職場の仲間の粂沢哲郎さん、CCD
のプロセスでたいへんお世話になった、阿部元昭さん、国分工場
立ち上げた小笠原さん、高橋本部長、山田中研所長、河野本部長、
SONYマグネスケールの仕事をいただいた森園副社長をはじめ、
大賀会長、岩間社長や、また、私とSONYの縁をつないでくれた、
大先輩の前田尚利先輩(前田多門の孫)や樋口先輩(樋口工場長
の息子さん)のお顔が浮かびます。

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この講演に関する参考図書
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(1) 人工知能パートナーシステム(AIPS)を支える「デジタル回路の世界」
    萩原良昭著 青山社 ISBN978-4-88359-339-2

(2) 「伝説ソニーの半導体」その栄光の軌跡そして未来への構図
  泉谷渉、川名喜之著 産業タイムズ社 ISBN978-4-88353-290-2 C3055

(3) 「イノベーションの成功と失敗」 武田 立、瀬戸篤著、
   同文館出版 ISBN978-4-495-38571-2

(4) 「技術の系統化調査報告」 国立科学博物館、
   Volume 29, March 2020, ISSN 2187-462X  

(5) 「ソニー初期の半導体開発記録」 企業戦略と発展の原動力
    川名 喜之 著    美研プリンティング株式会社 (非売品)

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この講演のSlideの詳細解説文を掲載しています。

http://www.aiplab.com/Slide_Sony_Atsugi_Tech_2020_07_10.html

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Slide 001 ~Slide 119 まであります。

これから Slideの説明文を用意します。

来週の水曜日には準備できると思いますので、
聴講する方は事前に復習して、質問を1つ用意
してください。講義の間に、居眠り防止用に
聴講者に質問を聞きたいと思っています。。。

予習してください、これは大学の授業の延長です(笑顔)。。。

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hagiwara-yoshiaki@aiplab.com ( http://www.aiplab.com/ )

hagiwara@ssis.or.jp ( http://www.ssis.or.jp/en/index.html )

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